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產(chǎn)品中心

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立式爐Mini STK

立式爐Mini STK應(yīng)用于立式爐管設(shè)備前端，適用于FOUP的轉(zhuǎn)運 、暫存和開盒。

advantages

產(chǎn)品優(yōu)勢
  • 一體成型設(shè)計
    整機一體成型設(shè)計
  • 自主研發(fā)
    自主研發(fā)FTR機械手，適配多類型300mm FOUP
  • 搭載雙口開盒器
    后端搭載雙口開盒器（FIMS），實現(xiàn)Front N2 purge
  • 可選配
    可選配Shelf N2 purge

Application areas

產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域

parameter

產(chǎn)品參數(shù)
  • 外形尺寸

    1745×1100×3500（mm）

  • 工位數(shù)

    18

  • 負載

    ≤10kg

  • 重復(fù)位置精度

    ±0.1mm

  • 振動

    ≤0.3g

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