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直驅(qū)電機(jī)結(jié)構(gòu)具有更高的真空特性，內(nèi)部結(jié)構(gòu)沒有齒輪，皮帶等部件，系統(tǒng)運(yùn)行的平穩(wěn)性更好，可靠性更高。全新的IO模塊，具有更多的輸出輸入引腳，用戶可以根據(jù)需求配置成互鎖，傳感器檢測等功能。輸入信號支硬件中斷功能，方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應(yīng)用。帶有安全區(qū)配置功能和靈敏的碰撞保護(hù)功能，減少用戶誤操作導(dǎo)致的各種損失。帶有大屏幕機(jī)器人示教器，方便調(diào)試人員使用，并支持熱插拔功能?？梢愿鶕?jù)客戶應(yīng)用的特殊要求，定制手臂尺寸，Z軸行程，耐高溫耐腐蝕特性等。
φ200、φ300mm
≤0.5Kg
±0.05mm
±0.006°
±0.05mm
≤1015mm
360°
90mm/135mm
＜1×10-7 Torr
＜1×10-9 std.cc/sec He
55kg
