男女高h在线观看_最新国产国语对白_日本在线视频一区的_色狠狠久久AV丁香

更多

產(chǎn)品中心

您當前所在位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > 潔凈機器人

SMIF

SMIF是一種晶圓裝載與檢測集成裝置，適用于6寸和8寸晶圓盒的自動開關(guān)盒，效率高，穩(wěn)定性好，重復(fù)定位精度高，潔凈等級為Class1；具有兼容150mm和200mm晶圓的mapping功能，能自動檢測盒內(nèi)各槽晶圓狀態(tài)，例如單片、跨片；具有開盒時自動識別盒內(nèi)晶圓尺寸的功能，更加便于使用；具有靈敏的晶圓滑出保護功能，可以自動監(jiān)測盒內(nèi)異常狀況，有效保護晶圓；具有實時檢測的機械手互鎖和光柵互鎖功能，可以有效保護機械手以及人身安全；具有RFID讀取功能。新松SMIF為全流程中國大陸自主設(shè)計制造，推動了國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的進步，有效的支撐了國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展。

advantages

產(chǎn)品優(yōu)勢
  • 優(yōu)勢明顯
    速度快、穩(wěn)定性好
  • 可掛載
    可掛載到Semi標準EFFM機械接口上
  • 多兼容
    兼容6寸和8寸晶圓和的開啟和關(guān)閉
  • 自動識別
    自動識別盒內(nèi)晶圓尺寸以及盒內(nèi)各槽晶圓狀態(tài)
  • 內(nèi)置多傳感器
    內(nèi)置晶圓滑出和卡塞錯位傳感器

Application areas

產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域

parameter

產(chǎn)品參數(shù)
  • 動作對象

    200mm Carrier

  • 移載重量

    0.8kg (需要進行5kg配重提升三次測試)

  • 重復(fù)位置精度

    ±0.1mm

  • 片盒檢查

    RFID讀取、微型光電傳感器、對射式光電傳感器

  • 材質(zhì)

    耐酸鋁+不銹鋼

  • 外形尺寸

    815H*365W*425D（mm）

  • 本體重量

    65kg

  • 工作臺

    帶有片盒載荷傳感器

  • 可靠性

    MTBF：17000h

  • 開盒時間

    12.5s

  • 關(guān)盒時間

    14s

版權(quán)所有 ? 沈陽新松機器人自動化股份有限公司 遼ICP備06001786號-1 地址：遼寧省沈陽市渾南區(qū)全運路33號 郵編：110169
關(guān)于新松 聯(lián)系我們 招賢納士