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大氣機(jī)械手廣泛用于硅晶圓以及LED藍(lán)寶石基片搬運(yùn)。手臂采用先進(jìn)的結(jié)構(gòu)加強(qiáng)了手臂的剛性，并有效抑制振動(dòng)，輕量化設(shè)計(jì)滿足高速要求。本體的制造工藝改進(jìn)有效降低成本，提升市場競爭力。材料、加工以及表面處理多方面優(yōu)選，以實(shí)現(xiàn)高潔凈度。具有多重安全保護(hù)功能。肘部和腕部靈活控制，使得機(jī)器人可以采用任意姿勢(shì)來取放晶圓，更節(jié)省空間，適應(yīng)性更強(qiáng)。是半導(dǎo)體行業(yè)的優(yōu)勢(shì)之選。
柱坐標(biāo)型/SCARA型
晶圓
φ200mm/φ300mm
≤0.5kg
3
505mm
960mm
340°
645mm
400mm/s
180°/s
<0.8s
±0.1mm (3σ)
±0.01°(3σ)
±0.1mm (3σ)
ISO CLASS 4
90kg
VAC 220V±10
618mm
