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產(chǎn)品中心

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大氣機(jī)械手Blade-SD210

耦合傳動、伺服驅(qū)動、潔凈傳動及潤滑、SCARA手臂結(jié)構(gòu)，具有占用空間小、大伸縮比、高精度、高潔凈度等優(yōu)點(diǎn)。迎合個(gè)性化設(shè)計(jì)，手指及接口用戶可定制，網(wǎng)絡(luò)化控制系統(tǒng)，高效率傳片和碰撞保護(hù)功能，SEMI認(rèn)證S2、F47，MCBF大于1000萬次。負(fù)責(zé)完成晶圓在FOUP、緩沖室、工藝位置等之間的自動傳送。是半導(dǎo)體行業(yè)的優(yōu)越之選擇。

advantages

產(chǎn)品優(yōu)勢
  • 耦合傳動、SCARA手臂結(jié)構(gòu)
    占用空間小，伸縮比大
  • 高精度、高潔凈度
    伺服驅(qū)動、潔凈傳動及潤滑
  • 個(gè)性化設(shè)計(jì)
    用戶可定制手指及接口
  • 系統(tǒng)網(wǎng)絡(luò)化控制
    傳片效率高、碰撞保護(hù)
  • 質(zhì)量可靠
    高品質(zhì)零部件，精密裝配，嚴(yán)格檢驗(yàn)，高壽命
  • SEMI認(rèn)證
    S2、F47，MCBF大于1000萬次
  • 質(zhì)量可靠
    高品質(zhì)零部件，精密裝配，嚴(yán)格檢驗(yàn)，高壽命

Application areas

產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域

parameter

產(chǎn)品參數(shù)
  • 結(jié)構(gòu)形式

    柱坐標(biāo)型/SCARA型

  • 負(fù)載-名稱

    晶圓

  • 負(fù)載-直徑

    2寸/4寸/6寸/8寸/12寸/

  • 負(fù)載-重量

    ≤0.5kg

  • 自由度數(shù)

    2

  • 最大回轉(zhuǎn)直徑

    580mm

  • 運(yùn)動范圍-升降軸（Z軸）

    450mm

  • 運(yùn)動范圍-回轉(zhuǎn)軸（T軸）

    270°

  • 運(yùn)動范圍-伸展軸（R1、R2）

    670mm

  • 節(jié)拍-升降軸（Z軸）

    <1s

  • 節(jié)拍-回轉(zhuǎn)軸（T軸）

    0.7s/180°

  • 節(jié)拍-伸展軸（R1、R2）

    1.2S/450mm

  • 重復(fù)定位精度-升降軸（Z軸）

    ±0.1mm (3σ)

  • 重復(fù)定位精度-回轉(zhuǎn)軸（T軸）

    ±0.006°(3σ)

  • 重復(fù)定位精度-伸展軸（R1、R2）

    ±0.1mm (3σ)

  • 潔凈度

    ISO CLASS 1

  • 主機(jī)重量

    60kg

  • 電源

    208VAC(50Hz/60Hz)

  • 行程

    670mm

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