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產(chǎn)品中心

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真空機械手 SM11

直驅(qū)電機結(jié)構(gòu)具有更高的真空特性，內(nèi)部結(jié)構(gòu)沒有齒輪，皮帶等部件，系統(tǒng)運行的平穩(wěn)性更好，可靠性更高。全新的IO模塊，具有更多的輸出輸入引腳，用戶可以根據(jù)需求配置成互鎖，傳感器檢測等功能。輸入信號支硬件中斷功能，方便客戶配置AWC等位置鎖存功能應(yīng)用。帶有安全區(qū)配置功能和靈敏的碰撞保護功能，減少用戶誤操作導(dǎo)致的各種損失。帶有大屏幕機器人示教器，方便調(diào)試人員使用，并支持熱插拔功能?？梢愿鶕?jù)客戶應(yīng)用的特殊要求，定制手臂尺寸，耐高溫耐腐蝕特性等。

advantages

產(chǎn)品優(yōu)勢
  • 性能安全穩(wěn)定可靠
    運行平穩(wěn)性好、高真空度
  • 高品質(zhì)
    具有高剛性、高速度、高精度等優(yōu)勢
  • 性價比優(yōu)越
    適用于潔凈領(lǐng)域，輕量級設(shè)計使其與產(chǎn)線融于一體，作業(yè)空間利用率高
  • 高潔凈度
    優(yōu)選材料、加工以及表面處理
  • 控制技術(shù)優(yōu)越
    動作靈活輕巧快捷，操作持久耐用
  • 高優(yōu)良特性
    滿足各類柔性化集成和生產(chǎn)等優(yōu)良特性于一體

Application areas

產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域

parameter

產(chǎn)品參數(shù)
  • 晶圓尺寸

    φ200mm

  • 負(fù)載重量

    ≤0.5Kg

  • R軸重復(fù)定位精度

    ±0.05mm

  • θ軸重復(fù)定位精度

    ±0.006°

  • R軸行程

    ≤530.5mm

  • T軸行程

    360°

  • 真空度

    ＜1×10-7 Torr

  • 漏率

    ＜1×10-9 std.cc/sec He

  • 整機重量

    25kg

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