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Titan1500C真空潔凈機(jī)器手采用網(wǎng)絡(luò)化控制系統(tǒng)，具有優(yōu)良的防碰撞保護(hù)功能及動(dòng)態(tài)糾偏功能，產(chǎn)品通過SEMI認(rèn)證，MCBF大于1000萬次。產(chǎn)品在磁流體密封技術(shù)及手臂使用鋼帶進(jìn)行動(dòng)力傳輸?shù)募夹g(shù)加持下，具備高潔凈度，高真空度、低漏率，耐高溫、耐腐蝕，負(fù)載能力強(qiáng)等特點(diǎn)。Titan1500C作為LED芯片制造領(lǐng)域的真空機(jī)械手產(chǎn)品主要用于LED芯片制造過程中，實(shí)現(xiàn)裝有大量LED晶圓的托盤在各個(gè)工藝腔室間的傳送，在使用過程中因其高精度、高傳輸效率、負(fù)載能力強(qiáng)等特點(diǎn)，大大提高了LED芯片生產(chǎn)制造的良率和效率，是LED芯片制造裝備的關(guān)鍵產(chǎn)品。本產(chǎn)品在集成電路制造用真空機(jī)械手的基礎(chǔ)上，針對(duì)其大負(fù)載需求，創(chuàng)新了其傳輸結(jié)構(gòu)和控制規(guī)律，使其能夠達(dá)到12kg的負(fù)載能力，以高品質(zhì)、高性價(jià)比服務(wù)于廣大客戶并在行業(yè)取得領(lǐng)先位置。