首屆世界集成電路大會(簡稱“IC WORLD”)于10月22日至24日在北京亦莊國際會展中心隆重舉行。北京市人民政府、中芯國際集成電路制造(北京)有限公司、京東方集團(tuán)、聯(lián)想集團(tuán)等領(lǐng)頭羊企業(yè)齊聚一堂,共同展望全球集成電路產(chǎn)業(yè)的未來。
本次大會是集成電路產(chǎn)業(yè)鏈成果展示的盛會,更是產(chǎn)業(yè)同仁學(xué)習(xí)交流的盛會。新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司(以下簡稱“新松”)作為一家致力于全智能產(chǎn)品及服務(wù)的高科技上市企業(yè),中國機(jī)器人產(chǎn)業(yè)的翹楚和工業(yè)4.0的踐行者和推動(dòng)者,重裝參展IC WORLD盛會,助力集成電路產(chǎn)業(yè)宣傳。新松公司重點(diǎn)業(yè)務(wù)涵蓋核心零部件、機(jī)器人和正常自動(dòng)化解決方案。2018年新松整合了IC裝備業(yè)務(wù),成立了半導(dǎo)體裝備BG,并收購韓國新盛(SHINSUNG FA)。完全擁有自主知識產(chǎn)權(quán)和核心技術(shù),技術(shù)水平國內(nèi)領(lǐng)先,達(dá)到國際先進(jìn)水平。
潔凈(真空)機(jī)器人及半導(dǎo)體裝備作為新松公司的核心業(yè)務(wù)之一,現(xiàn)已形成大氣機(jī)械手、真空機(jī)械手、EFEM、真空平臺、STOCKER和AMHS系統(tǒng)多個(gè)產(chǎn)品線。潔凈產(chǎn)品客戶現(xiàn)已遍及大陸以及臺灣地區(qū)。新松本次參展的產(chǎn)品是真空機(jī)械手Pinus-B37及復(fù)合機(jī)器人。
新松PINUS-B37 是全球領(lǐng)先的對稱連桿型真空直驅(qū)機(jī)械手,由新松公司自主研發(fā)設(shè)計(jì),采用磁流體密封、直驅(qū)電機(jī)密封等技術(shù);帶有大屏幕機(jī)器人示教器,方便調(diào)試人員使用,并支持熱插拔功能,易于操作,具有牽引示教功能;這些高靈活性,高穩(wěn)定性的設(shè)計(jì)尤其適用于等離子刻蝕設(shè)備Etcher、物理氣相沉積PVD、化學(xué)氣象沉積CVD等工藝設(shè)備,尤其可以對應(yīng)多腔室真空設(shè)備,能夠滿足滿足IC產(chǎn)業(yè)自動(dòng)化領(lǐng)域的傳輸需求。
新松復(fù)合機(jī)器人基于移動(dòng)機(jī)器人和工業(yè)機(jī)器人系統(tǒng)的創(chuàng)新融合,綜合視覺補(bǔ)償、力覺控制、碰撞保護(hù)和主動(dòng)導(dǎo)航等技術(shù),可快速布局自動(dòng)化工廠,適應(yīng)高柔性化生產(chǎn)模式,實(shí)現(xiàn)友好的人機(jī)協(xié)作功能,具有高效的智能物料配送方案。滿足企業(yè)數(shù)字化工廠對生產(chǎn)設(shè)備的苛刻需求,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體封裝測試環(huán)節(jié),可滿足FOUP,CST,MGZ在各機(jī)臺間的自動(dòng)運(yùn)輸,終端定位精度可達(dá)±0.05mm,CLASS 100潔凈度,能為半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用提供最優(yōu)的系統(tǒng)解決方案。